печь с автоматической загрузкой

Игры ⚽ Нужно решить контрольную?

вертикальная печь (в полупроводниковых приборах) — Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с вертикальным расположением технологического канала и горизонтальным расположением подложек внутри канала; превосходит горизонтальную печь по постоянству нагрева, совместима с… … Справочник технического переводчика

Словари и энциклопедии на Академике